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江苏半导体厂有机废气治理收集装置验收完毕

发布日期:2021-12-03浏览次数:1720

  江苏半导体厂有机废气治理收集装置验收完毕,半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。

  半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。挥发性有机废气主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序,在这些工序中要用有机溶液(如异丙醇对晶片表面进行清洗,其挥发产生的废气是有机废气的来源之一;同时,在光刻、刻蚀等过程中使用的光阻剂(光刻胶)中含有易挥发的有机溶剂,如醋酸丁酯等在晶片处理过程中也要挥发到大气中,是有机废气产生的又一来源。半导体制造工艺中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分。在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。
  我公司刚刚在江苏南京竣工一个半导体废气处理工程,我们在该厂两个车间分别安装了废气处理设备一套和车间除尘设备一组。现在先介绍半导体厂废气处理方法。
  电子厂废气处理方法:
(1)预处理阶段:一般采用喷淋塔先对废气进行预处理,去除粉尘以及易溶于水的有害气体。
(2)主要处理阶段:在此阶段,比较常见而有效方法有:UV光解,生物过滤分解,焚烧和催化燃烧等。
这几种方式各有优劣,根据大多数电子厂废气的情况,在这里我们主要推荐和介绍活性炭浓缩+蓄热式催化燃烧系统去除VOCs气体的方案。这里只是简单的介绍废气处理方法的一种,如果您想让我们做方案我们会为您详细介绍,欢迎来我公司考察。
 
 
 


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